Sản xuất thành công chip cảm biến áp suất bằng MEMS
05/05/2014
KH&CN trong nước
KH&CN trong nước
Trung tâm Nghiên cứu triển khai (R&D - Khu Công nghệ cao TPHCM) phối hợp với Trung tâm Nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch (Đại học Quốc gia TPHCM) vừa công bố sản xuất thành công chip cảm biến áp suất bằng công nghệ MEMS và sẵn sàng cho thương mại hóa sản phẩm.
Rửa sạch chip cảm biến áp suất trong phòng sạch của khu công nghệ cao. (Ảnh: Gia Vinh - TGTT)
Theo thạc sĩ Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất của Trung tâm R&D, chip cảm biến áp suất ứng dụng rộng rãi trong đời sống, công nghiệp và y tế. Trong công nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm soát áp suất đường ống, khí gas. Trong lĩnh vực y tế, chip cảm biến áp suất dùng trong thiết bị đo huyết áp. Còn trong đời sống, chip cảm biến áp suất dùng trong các thiết bị đo mực nước như máy giặt, máy rửa chén, bồn nước…
Ngoài ra chip cảm biến áp suất còn được sử dụng để chế tạo thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước, phục vụ chương trình thủy lợi cũng như chống ngập úng.
Nguồn: SGGP